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专利状态
太阳能电池上镀膜的硅片载板
有效
专利申请进度
申请
2020-11-26
授权
2021-09-14
预估到期
2030-11-26
专利基础信息
申请号 CN202022778197.5 申请日 2020-11-26
授权公布号 CN214193440U 授权公告日 2021-09-14
分类号 C23C14/50;C23C16/458;H01L31/18
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
  • 2021-09-14
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开了一种太阳能电池上镀膜的硅片载板,包括石墨板和设置在石墨板顶部的载板,载板的顶部开设有用于放置硅片的第一凹槽,第一凹槽的槽底开设有贯通槽底上下端面的气孔;所述石墨板的顶部开设有第二凹槽,硅片的径向尺寸>第二凹槽的径向尺寸>气孔的径向尺寸,所述第二凹槽仅通过气孔与外部连通,通过本套装置,将带气孔的载板放置在设有第二凹槽的石墨板顶部,石墨板的第二凹槽内存在的空气不影响硅片真空吸附,同时在出料腔回气时粉尘完全接触该石墨板不会污染到现有载板。