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专利状态
调节式布气系统及包含其的磁控溅射镀膜装置
有效
专利申请进度
申请
2012-12-10
申请公布
2013-04-03
授权
2015-04-01
预估到期
2032-12-10
专利基础信息
申请号 CN201210531667.5 申请日 2012-12-10
申请公布号 CN103014642A 申请公布日 2013-04-03
授权公布号 CN103014642B 授权公告日 2015-04-01
分类号 C23C14/35
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广东志成冠军集团有限公司
申请人地址 广东省东莞市塘厦镇田心工业区广东志成冠军集团有限公司
专利法律状态
  • 2015-04-01
    授权
    状态信息
    授权
  • 2013-05-01
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20121210
  • 2013-04-03
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明公开一种调节式布气系统及包含其的磁控溅射镀膜装置,包括至少两根平行设置的布气管,每根布气管上均设置流量计,相邻两根布气管上错列设置吹气部,吹气部是由多个规格相同的均匀排列的气孔构成,每个气孔沿布气管的径向开设,多个气孔在布气管沿其轴向依次布置。通过将布气系统设置为至少两根布气管,并在相邻两根布气管上错列设置吹气部,可以使布气系统吹出的气体能均匀的到达靶面,保证膜层均匀;通过在布气管上设置流量计,使气体的流量可实时的调节,即根据靶面距待镀膜物体表面的距离、镀膜厚度的不同,精确的调节气体的流量,并且能使各个布气管上吹出的气体的流量相等,达到实时控制、精确镀膜的目的。