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专利状态
一种渗铜工装
有效
专利申请进度
申请
2020-04-08
授权
2020-11-10
预估到期
2030-04-08
专利基础信息
申请号
CN202020504412.X
申请日
2020-04-08
授权公布号
CN211897081U
授权公告日
2020-11-10
分类号
C23C10/20
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
安泰科技股份有限公司
申请人地址
北京市海淀区学院南路76号
专利法律状态
2020-11-10
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供了一种渗铜工装,包括支撑架、固定盘和底盘;支撑架与固定盘连接,固定盘上开设多个第一通孔;底盘设于固定盘的下方,底盘的顶面与固定盘的底面接触;底盘与支撑架连接,底盘的顶面对应第一通孔的位置开设盲孔;每个第一通孔,以及与第一通孔对应的盲孔内固定待渗铜原料。解决现有的待渗铜原料的渗铜工序,采用多根原料捆绑对原料进行固定的方式,在原料渗铜过程中,一方面,无法保证原料渗铜的均匀性,另一方面,采用捆绑固定原料的方式不牢固,在原料渗铜过程中原料易松散并掉入渗铜干锅内,从而造成原料损坏,使得原料渗铜成品的质量低且生产效率低的技术问题。
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