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专利状态
一种复合纳米压印软模板
有效
专利申请进度
申请
2015-04-10
授权
2016-03-09
预估到期
2025-04-10
专利基础信息
申请号
CN201520214157.4
申请日
2015-04-10
授权公布号
CN205080364U
授权公告日
2016-03-09
分类号
G03F7/00
分类
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称
苏州锦富技术股份有限公司
申请人地址
江苏省苏州工业园区江浦路39号
专利法律状态
2017-07-04
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
状态信息
专利权人的姓名或者名称、地址的变更;IPC(主分类):G03F7/00;变更事项:专利权人;变更前:苏州锦富新材料股份有限公司;变更后:苏州锦富技术股份有限公司;变更事项:地址;变更前:215126 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦分区江浦路39号;变更后:215126 江苏省苏州工业园区江浦路39号
2016-03-09
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开了一种复合纳米压印软模板,具体制备为先制备由PDMS树脂层组成的弹性层,再制备由UV树脂层组成的硬质层,然后将弹性层覆于硬质层之上,固化后得到复合纳米压印软模板。本实用新型采用多层递进变化方法制备的复合纳米压印软模板,既可以获得较高硬度的结构层,又可以解决高硬度层脱落和开裂的问题;并且制备工艺简易、成本低,适于工业化生产。
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