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专利状态

MEMS麦克风及其制造方法

有效

专利申请进度

申请

2016-02-04

申请公布

2017-08-11

授权

2022-11-18

预估到期

2036-02-04

专利基础信息

申请号	CN201610080614.4	申请日	2016-02-04
申请公布号	CN107040857A	申请公布日	2017-08-11
授权公布号	CN107040857B	授权公告日	2022-11-18
分类号	H04R19/04
分类	电通信技术;
申请人名称	共达电声股份有限公司
申请人地址	山东省潍坊市坊子区凤山路68号

专利法律状态

2022-11-18

授权

状态信息

授权
2017-08-11

公布

状态信息

公布

摘要

公开了MEMS麦克风及其制造方法。所述MEMS麦克风包括：衬底；振膜层，所述振膜层位于所述衬底上；背极板，所述背极板位于所述振膜层上，并且与所述振膜层彼此相对，以形成电容极板；互连部件，包括与所述背极板相同层面的第一部分和从所述第一部分延伸至所述振膜层的第二部分；以及第一焊盘和第二焊盘，分别位于所述互连部件和所述背极板上。该MEMS麦克风利用互连部件在振膜上设置约束点，从而改善振膜的振动特性。

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