MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备

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专利状态

MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备

有效

专利申请进度

申请

2018-12-29

申请公布

2019-12-20

授权

2020-12-22

预估到期

2038-12-29

专利基础信息

申请号	CN201880028667.9	申请日	2018-12-29
申请公布号	CN110603818A	申请公布日	2019-12-20
授权公布号	CN110603818B	授权公告日	2020-12-22
分类号	H04R19/04
分类	电通信技术;
申请人名称	共达电声股份有限公司
申请人地址	山东省潍坊市坊子区凤山路68号

专利法律状态

2020-12-22

授权

状态信息

授权
2020-01-14

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效
2019-12-20

公布

状态信息

公布

摘要

一种MEMS声音传感器，包括：基板；设置在基板上的第一声音传感单元和第二声音传感单元；其中第一声音传感单元用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音；第一声音传感单元包括第一背板，第一振膜，与第一背板相对设置且与第一背板之间存在间隙；第一振膜与第一背板构成电容结构，基板上开设有第一背洞以裸露第一振膜，及第一连接柱，以将第一振膜悬挂于第一背板上；第一振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；第一背板上设置有开口。

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