具有自适应性的场截止电压控制型功率器件

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专利状态

具有自适应性的场截止电压控制型功率器件

有效

专利申请进度

申请

2015-08-21

申请公布

2015-12-16

授权

2018-05-18

预估到期

2035-08-21

专利基础信息

申请号	CN201510516410.6	申请日	2015-08-21
申请公布号	CN105161529A	申请公布日	2015-12-16
授权公布号	CN105161529B	授权公告日	2018-05-18
分类号	H01L29/739;H01L29/78;H01L29/06
分类	基本电气元件;
申请人名称	中国东方电气集团有限公司
申请人地址	四川省成都市金牛区蜀汉路333号

专利法律状态

2018-05-18

授权

状态信息

授权
2016-01-13

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 29/739申请日:20150821
2015-12-16

公布

状态信息

公开

摘要

本发明涉及半导体器件领域，具体为具有自适应性的场截止电压控制型功率器件，包括金属导电层，所述金属导电层的一侧设置有衬底，所述衬底上设置有多个沟槽，所述衬底的一侧设置有电压控制型功率器件的正面结构，沟槽一侧的金属导电层上设置有电位V端；所述金属导电层与衬底之间还有背面重掺杂区，各沟槽内设置有沟槽导电填充物，在所述沟槽的侧壁和沟槽底部设置有绝缘层，各沟槽之间形成感应电荷浓度增强区。本发明完全通过器件结构设计来实现场截止，彻底摆脱了现有技术掺杂方法所固有的扩散深度有限、高温过程影响器件其他结构以及工艺受限等缺点。

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