采用金属延伸、多晶截止场板的终端单元结构及制造方法

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专利状态

采用金属延伸、多晶截止场板的终端单元结构及制造方法

有效

专利申请进度

申请

2014-11-05

申请公布

2015-02-04

授权

2018-05-22

预估到期

2034-11-05

专利基础信息

申请号	CN201410614947.1	申请日	2014-11-05
申请公布号	CN104332491A	申请公布日	2015-02-04
授权公布号	CN104332491B	授权公告日	2018-05-22
分类号	H01L29/06;H01L27/02;H01L21/336
分类	基本电气元件;
申请人名称	中国东方电气集团有限公司
申请人地址	四川省成都市金牛区蜀汉路333号

专利法律状态

2018-05-22

授权

状态信息

授权
2015-03-11

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 29/06申请日:20141105
2015-02-04

公布

状态信息

公开

摘要

本发明涉及电力电子技术领域，具体为采用金属延伸、多晶截止场板的终端单元结构及制造方法，包括第一导电类型衬底，所述第一导电类型衬底的第一主面内设有第二导电类型场限环，所述第一导电类型衬底的第一主平面上，设有第一绝缘层；两块场板位于第一绝缘层的上面、且覆盖在第二导电类型场限环的两侧，所述场板包括多晶截止场板和金属延伸场板，所述金属场板的一端与多晶截止场板接触相连。本发明使用多晶充当截止场版，使用金属充当延伸场版，这样电场截止的效果最好，同时避免了电场延伸所带来的第一绝缘层击穿，对第一绝缘层的厚度依赖比较小。

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