用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点

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专利状态

用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点

有效

专利申请进度

申请

2016-10-28

授权

2017-05-03

预估到期

2026-10-28

专利基础信息

申请号	CN201621194659.6	申请日	2016-10-28
授权公布号	CN206148412U	授权公告日	2017-05-03
分类号	H01L21/673;H01L21/687;H01L31/18;C23C16/458
分类	基本电气元件;
申请人名称	无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址	江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号

专利法律状态

2020-10-30

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):H01L21/673；登记生效日:20201016；变更事项:专利权人；变更前:洛阳尚德太阳能电力有限公司；变更后:无锡尚德太阳能电力有限公司；变更事项:地址；变更前:471003 河南省洛阳市高新技术开发区华夏路8号；变更后:214028 江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号
2020-06-23

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):H01L21/673；登记生效日:20200603；变更事项:专利权人；变更前:无锡尚德太阳能电力有限公司；变更后:洛阳尚德太阳能电力有限公司；变更事项:地址；变更前:214028 江苏省无锡市新吴区新华路9号；变更后:471003 河南省洛阳市高新技术开发区华夏路8号；变更事项:共同专利权人；变更前:洛阳尚德太阳能电力有限公司
2017-05-03

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点，包括固定部，其特征是：在所述固定部的两侧面设置平台，在平台上设置卡点，卡点具有短边和长边；所述卡点的长边大于平台的尺寸，卡点超出平台的区域与固定部之间形成卡槽。本实用新型所述用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点，采用菱形或一字型卡点，减少了石墨卡点对电池片覆盖区域的面积；同时，卡点与固定部之间设置圆形平台，最大面积的增加耐磨区的宽度，保证了石墨卡点的耐磨性。

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