选择性发射极双面PERC晶体硅太阳能电池的制作方法

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专利状态

选择性发射极双面PERC晶体硅太阳能电池的制作方法

有效

专利申请进度

申请

2016-10-17

申请公布

2017-02-22

授权

2017-11-10

预估到期

2036-10-17

专利基础信息

申请号	CN201610902698.5	申请日	2016-10-17
申请公布号	CN106449876A	申请公布日	2017-02-22
授权公布号	CN106449876B	授权公告日	2017-11-10
分类号	H01L31/18;H01L31/0224
分类	基本电气元件;
申请人名称	无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址	江苏省无锡市新吴区新华路9号

专利法律状态

2019-12-17

专利权的保全及其解除

状态信息

专利权保全的解除IPC(主分类):H01L 31/18授权公告日:20171110解除日:20191121
2019-07-12

专利权的保全及其解除

状态信息

专利权的保全IPC(主分类):H01L 31/18授权公告日:20171110登记生效日:20190612
2017-11-10

授权

状态信息

授权
2017-03-22

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/18申请日:20161017
2017-02-22

公布

状态信息

公开

摘要

本发明涉及一种选择性发射极双面PERC晶体硅太阳能电池的制作方法，其特征是，包括以下步骤：（1）硅片去损伤层并制绒、清洗；（2）扩散形成pn结，去除扩散后硅片正面磷硅玻璃和背面pn结；（3）在硅片的背面沉积氧化铝/氮化硅叠层钝化薄膜，在硅片的正面沉积氮化硅减反射薄膜；（4）使用激光器在硅片背表面打线，得到打线槽；（5）正面涂布磷源；（6）正面激光掺杂，得到激光掺杂的主栅线和副栅线；（7）光诱导电镀镍/铜/银电极：将电池背面与外置电源的阴极连接，在电池正面和背面同时电镀，依次电镀镍/铜/银三种金属；（8）将电镀后的电池进行退火。本发明解决了丝网印刷双面PERC电池背面印刷铝栅线与激光开窗栅线难对准的问题。

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