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专利状态
多晶硅片打磨装置
有效
专利申请进度
申请
2018-12-26
授权
2019-08-16
预估到期
2028-12-26
专利基础信息
申请号 CN201822192442.7 申请日 2018-12-26
授权公布号 CN209266428U 授权公告日 2019-08-16
分类号 H01L31/18;H01L21/67
分类 基本电气元件;
申请人名称 无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址 江苏省无锡市新吴区新华路9号
专利法律状态
  • 2019-08-16
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及太阳能电池用硅片制绒机,具体涉及多晶硅片打磨装置。一种多晶硅片打磨装置,所述多晶硅片打磨装置包括制绒设备、清洗设备和抽风设备,所述制绒设备和清洗设备相连;所述抽风设备包括抽风管、抽风泵和信号采集系统;所述抽风泵和信号采集系统设置在所述抽风管中,抽风设备的抽风端连接所述清洗设备的清洗室。所述多晶硅片打磨装置,能够及时排出并处理氟化物,从而能够保证多晶硅片打磨工艺能够精准、安全、环保地进行。