湿法链式刻蚀槽进液结构_专利查询-品牌网

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专利状态

湿法链式刻蚀槽进液结构

有效

专利申请进度

申请

2018-03-30

授权

2018-12-11

预估到期

2028-03-30

专利基础信息

申请号	CN201820440708.2	申请日	2018-03-30
授权公布号	CN208225848U	授权公告日	2018-12-11
分类号	H01L21/67;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址	江苏省无锡市新吴区新华路9号

专利法律状态

2018-12-11

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体底部的进液盒，进液盒设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔，进液盒的底部设置进液口，进液盒通过进液口与进液管路连接。本实用新型能够提高槽体进液的稳定性，避免硅片表面产生气泡印而生的降低，减少或杜绝不良片的产生。

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