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专利状态
氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金
有效
专利申请进度
申请
2011-09-07
申请公布
2012-04-11
授权
2013-08-14
预估到期
2031-09-07
专利基础信息
申请号 CN201110262891.4 申请日 2011-09-07
申请公布号 CN102409300A 申请公布日 2012-04-11
授权公布号 CN102409300B 授权公告日 2013-08-14
分类号 C23C14/34;C23C14/08;B23K1/19;B23K35/26;C22C13/00
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 湖北三峡新型建材股份有限公司
申请人地址 湖北省宜昌市当阳市经济技术开发区特1号
专利法律状态
  • 2023-06-16
    专利申请权、专利权的转移
    状态信息
    专利权的转移;IPC(主分类):C23C14/34;登记生效日:20230606;变更事项:专利权人;变更前:三峡大学;变更后:湖北三峡新型建材股份有限公司;变更事项:地址;变更前:443002 湖北省宜昌市大学路8号;变更后:444105 湖北省宜昌市当阳市经济技术开发区特1号;变更事项:专利权人;变更前:孙宜华 湖北三峡新型建材股份有限公司
  • 2013-08-14
    授权
    状态信息
    授权
  • 2012-05-23
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/34;申请日:20110907
  • 2012-04-11
    公布
    状态信息
    公布
摘要
一种氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金,将以Sn为主要成分的含有特定含量的Zn和In的三元系钎焊合金作为连接陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接材料,陶瓷靶材连接面中温预烧渗极薄的银过渡层,实施陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接,能够低成本、高效率的生产,改善钎料润湿性,提高靶材与同背板的连接性能,实现稳定溅射的溅射靶。本发明的制造氧化物陶瓷溅射靶的方法,有效地实现了靶材与背板的连接,提高了靶的连接强度,连接的抗剪强度达20MPa左右,在进行真空溅射时,能够承受更大的靶功率密度,靶功率密度可达8.2W/cm2。