一种用于玻璃基板蒸镀的载板装置,包括支撑板,所述支撑板设有个安装孔,吸盘组件分别安装在安装孔中固定,吸盘组件包括吸盘,吸盘位于支撑板的一侧,吸盘底部设有安装套管,安装套管外壁位于吸盘一端设有凸缘,远离吸盘一端设有外螺纹,安装套管插入安装在安装孔内,固定盖安装在安装套管的外螺纹上,安装套管内靠吸盘一端设有凸环,滑塞滑动的安装在安装套管内,滑塞远离吸盘一侧固设有连杆,连杆远离滑塞一端伸出固定盖,连杆上安装有弹簧,弹簧一端抵靠滑塞,另一端抵靠固定盖,使滑塞抵靠凸环形成密封,拉动连杆,吸盘一侧与固定盖一侧贯通。通过吸盘组件,将吸盘一侧朝下按压到玻璃基板上,便方便的将玻璃基板吸附到载板装置上。通过多个吸盘同时吸附玻璃基板,可重复使用,吸附稳定性好,安全性高。