• 热门行业
  • 装修建材
  • 家居生活
  • 餐饮食品
  • 母婴教育
  • 电脑办公
  • 服装首饰
  • 汽车工具
  • 家电数码
  • 机械化工
  • 休闲美容
返回上一页
专利状态
一种AZO透明导电薄膜的制备方法
有效
专利申请进度
申请
2014-04-10
申请公布
2014-07-23
授权
2016-08-17
预估到期
2034-04-10
专利基础信息
申请号 CN201410141358.6 申请日 2014-04-10
申请公布号 CN103938210A 申请公布日 2014-07-23
授权公布号 CN103938210B 授权公告日 2016-08-17
分类号 C23C28/04;C23C18/12;C23C14/06;C23C14/35
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 湖北三峡新型建材股份有限公司
申请人地址 湖北省宜昌市大学路8号
专利法律状态
  • 2016-08-17
    授权
    状态信息
    授权
  • 2014-08-20
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 28/04申请日:20140410
  • 2014-07-23
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明公开了一种光电材料技术领域的AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜的制备方法,通过在玻璃基片上依次采用溶胶?凝胶法和磁控溅射法沉积AZO薄膜。采用该方法制备的薄膜不仅具备良好的光电综合性能,而且解决了采用磁控溅射法在低温条件下制备薄膜的附着性差的问题,延长了薄膜的使用寿命,提高了其稳定性。本发明结合溶胶?凝胶和磁控溅射法的优势所制备的AZO薄膜,工艺简单,成本低廉,薄膜光电性能优良,应用前景广阔。