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专利状态
一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板
有效
专利申请进度
申请
2022-11-11
授权
2023-04-28
预估到期
2032-11-11
专利基础信息
申请号
CN202223008104.6
申请日
2022-11-11
授权公布号
CN218932266U
授权公告日
2023-04-28
分类号
C23C14/24;C03C17/00
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
湖北三峡新型建材股份有限公司
申请人地址
湖北省宜昌市当阳市经济技术开发区特1号
专利法律状态
2023-04-28
授权
状态信息
授权
摘要
一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板,包括底板、盖板以及流道板,所述流道板位于底板和盖板之间,多个螺钉穿过盖板和流道板后与底板连接,使底板和盖板密封压合在和流道板两侧,底板的两侧分别设有进液口和回液口,进液口和回液口分别与流道板内的两个回形散热通道连通,回形散热通道上设有流量阀。通过两个回形散热通道进行散热,冷却板温度更加均衡,散热效果好。采用底板和盖板密封压合流道板的结构形成散热冷却通道,转折处内径不会变小,冷却水流均匀,进一步提升了冷却效果。两个进液口和回液口分别位于底板的两侧,从两个方向通入冷却水,冷却效果更好。分别在回形散热通道上设有流量阀,分别调节两个回形散热通内的冷却水流量,使冷却板温度均衡。
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