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专利状态

一种装载装置

有效

专利申请进度

申请

2021-06-28

授权

2021-11-23

预估到期

2031-06-28

专利基础信息

申请号	CN202121444083.5	申请日	2021-06-28
授权公布号	CN214848538U	授权公告日	2021-11-23
分类号	H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	苏州赛腾精密电子股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路4号

专利法律状态

2021-11-23

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开了一种装载装置，包括：载台；晶圆盒，其置于所述载台上，并用于装载晶圆；以及防护罩，其用于围设在所述晶圆盒的外围；其中，所述防护罩设置在所述载台上，所述防护罩可相对所述载台主动移动，以靠近或远离所述晶圆盒。本实用新型通过在载台上设置防护罩，防护罩可相对载台主动移动，当需要在载台上取放晶圆盒时，防护罩可朝着远离晶圆盒的方向移动，以便取放晶圆盒；当无需取放晶圆盒时，防护罩可朝着晶圆盒移动，并围设在其外围，有效避免了作业人员误接触晶圆盒，从而提高生产安全性，提高生产效率。

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