真空腔室的真空平衡结构_专利查询-品牌网

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专利状态

真空腔室的真空平衡结构

有效

专利申请进度

申请

2019-09-05

授权

2020-05-22

预估到期

2029-09-05

专利基础信息

申请号	CN201921475560.7	申请日	2019-09-05
授权公布号	CN210588923U	授权公告日	2020-05-22
分类号	B25B11/00
分类	手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
申请人名称	深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋

专利法律状态

2020-05-22

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及真空贴合的技术领域，公开了真空腔室的真空平衡结构，包括处于真空腔室内的治具板，治具板内设有内腔室；治具板上具有吸合面，吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，真空吸孔与内腔室连通；治具板上设有连通孔以及平衡孔，连通孔及平衡孔分别连通内腔室及外部，真空发生器通过连接管与连通孔连接；平衡孔上设置有自动平衡结构，内腔室内的压力大于真空腔室内的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通；治具板处于真空腔室，内腔室的压力大于真空腔室的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通，使内腔室与真空腔室的压力一致，工件的表面没有压差，治具板通过静电吸片吸附工件，实现对工件的固定。

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