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专利状态

晶圆扩膜机

有效

专利申请进度

申请

2022-06-02

授权

2022-09-13

预估到期

2032-06-02

专利基础信息

申请号	CN202221383702.9	申请日	2022-06-02
授权公布号	CN217426690U	授权公告日	2022-09-13
分类号	H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋

专利法律状态

2022-09-13

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种晶圆扩膜机，该晶圆扩膜机包括底座、扩膜件、升降气缸和晶圆环，扩膜件设于底座，扩膜件的背离底座的一面设有圆形凸起，升降气缸设于底座，晶圆环连接于升降气缸，晶圆环位于圆形凸起背离底座的一侧，晶圆环对应圆形凸起设置，且晶圆环的内径大于圆形凸起的外径晶圆环能够在升降气缸的作用下相对扩膜件运动至圆形凸起撑住晶圆环的蓝膜，以对蓝膜进行扩膜。本实用新型实施例提供的晶圆扩膜机，能仅利用升降气缸驱动即可实现对蓝膜进行扩膜，而无需设置传动组件，从而有利于简化晶圆扩膜机的结构，便于加工，从而有利于降低晶圆扩膜机的成本，而且晶圆扩膜机的动力输出稳定可靠。

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