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专利状态
一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2021-03-12
申请公布
2021-06-18
授权
2023-05-26
预估到期
2041-03-12
专利基础信息
申请号 CN202110272381.9 申请日 2021-03-12
申请公布号 CN112976746A 申请公布日 2021-06-18
授权公布号 CN112976746B 授权公告日 2023-05-26
分类号 B32B27/36;B32B7/12;B32B27/08;B32B27/30;B32B27/06;C08J5/18;C08L33/08;C08L79/04;C08L65/00;C08L79/02;C08K3/22;C08K3/36
分类 层状产品;
申请人名称 富维薄膜(山东)有限公司
申请人地址 山东省潍坊市高新开发区东明路以东、卧龙东街以南
专利法律状态
  • 2023-05-26
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-06-18
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法,涉及聚酯薄膜技术领域,抗静电聚酯层设置在聚酯薄膜基材的上端面,表层保护层设置在抗静电聚酯层的上端面,表层保护层采用聚烯烃膜,抗静电聚酯层采用有机‑无机复合材料,其中,有机材料采用丙烯酸酯树脂,无机材料采用改性纳米无机粒子,本发明在原有的聚酯薄膜上粘附有抗静电层,有效地降低了薄膜的表面电阻,使薄膜具有稳定、良好地抗静电性能,能有效的防止静电吸附杂质,而造成对聚酯薄膜表面的污染,同时,添加的抗静电层并不会影响聚酯薄膜原有的光学性能和机械性能,进而提高了抗静电干膜抗蚀剂的综合性能,制备简单,产品稳定可靠。