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专利状态
一种三层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2021-12-04
申请公布
2022-02-25
授权
2023-12-22
预估到期
2041-12-04
专利基础信息
申请号 CN202111469450.1 申请日 2021-12-04
申请公布号 CN114083864A 申请公布日 2022-02-25
授权公布号 CN114083864B 授权公告日 2023-12-22
分类号 B32B27/36;B32B27/08;B32B27/18;B32B33/00;C08L67/02;C08K7/26;C08K5/50;C08J5/18;B29D7/01
分类 层状产品;
申请人名称 富维薄膜(山东)有限公司
申请人地址 山东省潍坊市高新开发区东明路以东、卧龙东街以南
专利法律状态
  • 2023-12-22
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-02-25
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明提供一种三层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法,该薄膜为一体挤出复合成型的A/B/C三层结构膜,总厚度14~16微米,A/B/C三层厚度比6~12:76~88:6~12,B为芯层,所用材料是纯PET树脂,A、C为外表层、内表层,构成材料均是含有(2‑羟乙基)氯化三苯鏻和间苯二酚改性气相二氧化硅的间苯二甲酸改性PET树脂;该薄膜制备包括间苯二酚改性气相二氧化硅的制备,间苯二甲酸改性PET树脂母粒的制备,A/B/C三层聚酯薄膜的制备。所得聚酯薄膜透光率91.02~91.33%,雾度1.81~2.12%,静摩擦系数0.37~0.50μs,表面固有电阻值0.46×1011~0.51×1011Ω。