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专利状态
一种多晶硅片的烘干设备
有效
专利申请进度
申请
2019-12-24
授权
2020-08-07
预估到期
2029-12-24
专利基础信息
申请号
CN201922358176.5
申请日
2019-12-24
授权公布号
CN211199478U
授权公告日
2020-08-07
分类号
C30B35/00;C30B29/06;B41F23/04;B41F23/00
分类
晶体生长〔3〕;
申请人名称
浙江芯能光伏科技股份有限公司
申请人地址
浙江省嘉兴市海宁市皮都路9号
专利法律状态
2020-08-07
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供了一种多晶硅片的烘干设备,属于机械技术领域。它解决了现有烘干设备的烘干效率较低等技术问题。本多晶硅片的烘干设备,包括底座,其特征在于,底座上设置有上料结构、烘干箱体和清洁结构,上料结构、烘干箱体和清洁结构依次排列,底座上还固定有输送槽,输送槽穿过烘干箱体和清洁结构,所述上料结构包括安装架、丝杆、滑块、步进电机、固定板和若干推板,输送槽上还开设有供推板操作的若干操作口。本实用新型具有烘干效率高的优点。
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