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专利状态
一种纳米复合涂层及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2020-04-14
申请公布
2020-06-19
授权
2021-12-21
预估到期
2040-04-14
专利基础信息
申请号 CN202010288838.0 申请日 2020-04-14
申请公布号 CN111304618A 申请公布日 2020-06-19
授权公布号 CN111304618B 授权公告日 2021-12-21
分类号 C23C14/35;C23C14/06
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 上海工具厂有限公司
申请人地址 上海市杨浦区军工路1060号
专利法律状态
  • 2021-12-21
    授权
    状态信息
    授权
  • 2020-07-14
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/35;申请日:20200414
  • 2020-06-19
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明涉及纳米复合涂层技术领域,提供了一种(AlCrTiZrMo)‑Six‑N纳米复合涂层及其制备方法。本发明提供的(AlCrTiZrMo)‑Six‑N纳米复合涂层包括(AlCrTiZrMo)N基体相和Si3N4界面相;所述Si3N4界面相将(AlCrTiZrMo)N基体相分成了若干个基体相单元,每个基体相单元外侧被Si3N4界面相环绕包围。本发明通过Si掺杂使得涂层形成界面相Si3N4包裹纳米晶(AlCrTiZrMo)N的纳米复合结构,界面相阻碍了(AlCrTiZrMo)N纳米晶粒沿晶界的滑移,抑制了纳米复合膜的微观变形,以达到全面提高硬度和弹性模量的效果。