申请号 | CN202010902526.4 | 申请日 | 2020-09-01 |
申请公布号 | CN111962036A | 申请公布日 | 2020-11-20 |
授权公布号 | CN111962036B | 授权公告日 | 2022-07-05 |
分类号 | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;CN1776017A,2006.05.24;CN108642449A,2018.10.12翟晴晴等.(AlCrTiZrNb)N/Si3N4纳米多层膜的微观结构和力学性能研究.《功能材料》.2019,第50卷(第4期),第04142-04147页.;B.Ren等.Structureandpropertiesof(AlCrMoNiTi)Nxand(AlCrMoZrTi)NxfilmsbyreactiveRFsputtering.《Surface&Co | ||
分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; | ||
申请人名称 | 上海工具厂有限公司 | ||
申请人地址 | 上海市杨浦区军工路1060号 |