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专利状态
一种Plasma机器均匀性测试方法
有效
专利申请进度
申请
2020-12-22
申请公布
2021-05-11
授权
2023-08-11
预估到期
2040-12-22
专利基础信息
申请号 CN202011523718.0 申请日 2020-12-22
申请公布号 CN112781901A 申请公布日 2021-05-11
授权公布号 CN112781901B 授权公告日 2023-08-11
分类号 G01M99/00
分类 测量;测试;
申请人名称 东莞美维电路有限公司
申请人地址 广东省东莞市东城区外经工业园区
专利法律状态
  • 2023-08-11
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-05-28
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):G01M99/00;申请日:20201222
  • 2021-05-11
    公布
    状态信息
    公布
摘要
一种Plasma机器均匀性测试方法,其包括如下步骤:步骤一、准备若干测试片,将测试片烘烤后放进干燥皿里冷却至常温后称重并做标记;步骤二、将测试片分别放进覆铜治具板内;步骤三、将覆铜冶具板及若干覆铜假板以一定规律放入于Plasma机器内;步骤四、Plasma机器均匀性测试;步骤五、Plasma做完后,将测试片自覆铜冶具板内拆下,然后将测试片进行烘烤,之后放进干燥皿里进行冷却至常温,再对测试片进行称重;步骤六、结果计算,九个区域的测试结果百分比均需≥70%才算合格。本发明对整个Plasma机器的均匀性及生产产品时的稳定性,进行全方面的评估和监控,从而可确保Plasma机器投入量产时性能稳定、产品质量稳定。