一种大尺寸钼靶材的制备方法

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专利状态

一种大尺寸钼靶材的制备方法

有效

专利申请进度

申请

2022-01-31

申请公布

2022-06-03

授权

2023-05-23

预估到期

2042-01-31

专利基础信息

申请号	CN202210114908.X	申请日	2022-01-31
申请公布号	CN114574821A	申请公布日	2022-06-03
授权公布号	CN114574821B	授权公告日	2023-05-23
分类号	C23C14/34;B22F5/00;B22F9/22;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/17;B22F3/18;B22F3/24;C22F1/18;C22F1/02;C23F1/26;C23G1/10
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	安泰科技股份有限公司
申请人地址	北京市海淀区学院南路76号

专利法律状态

2023-05-23

授权

状态信息

授权
2022-11-18

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利申请权的转移；IPC(主分类):C23C 14/34；专利申请号:202210114908X；登记生效日:20221107；变更事项:申请人；变更前权利人:北京科技大学；变更后权利人:安泰科技股份有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:100083 北京市海淀区学院路30号；变更后权利人:100081 北京市海淀区学院南路76号；变更事项:申请人；变更前权利人:；变更后权利人:北京科技大学安泰天龙钨钼科技有限公司
2022-11-18

著录事项变更

状态信息

著录事项变更；IPC(主分类):C23C 14/34；专利申请号:202210114908X；变更事项:发明人；变更前:章林李星宇曲选辉熊宁刘国辉秦明礼陈刚张百成王广达魏子晨阙忠游杨军军；变更后:王广达熊宁章林李星宇曲选辉秦明礼陈刚张百成魏子晨阙忠游杨军军
2022-06-21

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C 14/34；专利申请号:202210114908X；申请日:20220131
2022-06-03

公布

状态信息

公布

摘要

本发明属于先进金属材料制备研究领域，涉及一种大尺寸钼靶材的制备方法。该方法以以钼酸铵为原料，先进行氨溶和阳离子交换处理，之后蒸发结晶后氢气还原得到高纯钼粉；将得到高纯钼粉进行冷等静压和氢气烧结制备得到高纯钼板坯；将得到的高纯钼板坯采用一火一道次加工方式进行预锻造开坯，得到预锻坯料，再采用一火两道次加工方式进行多道次交叉轧制，得到轧制板坯；对得到的轧制板坯进行表面化学腐蚀，再对腐蚀后的板坯进行均匀化退火处理，最终获得大尺寸钼靶材。采用本发明制备方法所达到的目标效果是有针对性提纯，高纯靶材成品的晶粒细小，沿靶材厚度方向的晶粒均匀性良好且晶粒取向分布均匀。

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