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专利状态
一种MOCVD加热组件
有效
专利申请进度
申请
2021-06-24
授权
2021-12-10
预估到期
2031-06-24
专利基础信息
申请号
CN202121413564.X
申请日
2021-06-24
授权公布号
CN215103543U
授权公告日
2021-12-10
分类号
C23C16/46
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
安泰科技股份有限公司
申请人地址
北京市海淀区学院南路76号
专利法律状态
2021-12-10
授权
状态信息
授权
2021-12-10
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供一种MOCVD加热组件,涉及加热器材领域,包括:加热片,所述加热片包含加热部和两个连接部,两个所述连接部分别连接于所述加热部的两端,所述连接部与所述加热部之间圆滑过渡;两个电极引脚,两个所述电极引脚分别与两个所述连接部连接;固定机构,所述固定机构能够将所述连接部固定于所述电极引脚上;其中,所述加热部围成具有豁口的圆筒形结构,所述连接部为矩形结构,本实用新型公开一种MOCVD加热组件,避免了加热片出现局部的温度囤积区域,提高了加热效率,延长了加热片的使用寿命。
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