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专利状态
一种曝光基板
有效
专利申请进度
申请
2023-04-12
授权
2024-02-23
预估到期
2033-04-12
专利基础信息
申请号
CN202320818572.5
申请日
2023-04-12
授权公布号
CN220526179U
授权公告日
2024-02-23
分类号
G03F1/84
分类
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称
信利光电股份有限公司
申请人地址
广东省汕尾市城区工业大道信利工业城一区第15栋
专利法律状态
2024-02-23
授权
状态信息
授权
摘要
本申请提供了一种曝光基板,包括基板本体,所述基板本体上设置有方向指示部件,所述方向指示部件用于指示加工方向。本申请通过设置的方向指示部件,当基板本体被取出检测清理完之后放回产线时,方向指示部件能够指示基板本体的加工方向,避免投放基板本体的时候方向出错,进而保证加工质量,提高生产效率。
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