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专利状态
一种多级压力快速烧结炉及其使用工艺
有效
专利申请进度
申请
2022-01-13
申请公布
2022-04-15
授权
2023-08-18
预估到期
2042-01-13
专利基础信息
申请号 CN202210037183.9 申请日 2022-01-13
申请公布号 CN114353528A 申请公布日 2022-04-15
授权公布号 CN114353528B 授权公告日 2023-08-18
分类号 F27D1/10;F27D5/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D21/00
分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
申请人名称 广东风华高新科技股份有限公司
申请人地址 广东省广州市越秀区东风东路729号
专利法律状态
  • 2023-08-18
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-05-03
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):F27D1/10;申请日:20220113
  • 2022-04-15
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种多级压力快速烧结炉及其使用工艺,涉及冶金技术及芯片封装互连技术领域。本发明的的多级压力快速烧结炉摒弃了传统烧结炉使用抽气装置抽除炉内空气,创新性地提出了通过液压系统直接往烧结炉内通液压油的方式排除烧结炉内空气的方法,通过使用液体(液压油)作为力传导介质不仅可以使样品承受稳定压力,避免加压过程中样品烧结层的破坏,且液体的导热率远远大于气体,能实现炉内快速升温,且本发明的多级压力快速烧结炉可灵活放置多个工作台,能够实现同时对多个样品进行烧结,并且通过节流阀,能使多个液压腔的压力从上至下依次递减,从而实现了对不同压力需求的多样品进行多级压力快速烧结。