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专利状态
MEMS芯片和MEMS传感器
有效
专利申请进度
申请
2020-08-04
授权
2020-09-25
预估到期
2030-08-04
专利基础信息
申请号 CN202021593913.6 申请日 2020-08-04
授权公布号 CN211570111U 授权公告日 2020-09-25
分类号 B81B7/04;H04R19/04
分类 微观结构技术〔7〕;
申请人名称 共达电声股份有限公司
申请人地址 山东省潍坊市坊子区凤山路68号
专利法律状态
  • 2020-09-25
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型提供一种MEMS芯片和MEMS传感器。芯片包括基底、安装于基底上的振膜和背板,基底设背腔,振膜包括固定至基底的外围部、可相对所述外围部运动的感测部,感测部与背腔相对,背腔的边界位于感测部的边界以内,感测部靠近其边界处设若干第二通孔,通过缩小背腔尺寸,缩小的尺寸差值即为加工裕度之范围,可依机台特性及需求来决定缩小范围。振膜感测部边界内设置一圈至数圈的第二通孔,可以为蚀刻液体或气体提供更多的蚀刻路径,补偿工艺偏移时牺牲层无法释放的区域,避免感测部上牺牲层残留问题。第二通孔结构,可视机台状况由一圈增加到数圈,其内外边界的差值,直接对应制程裕度,确保背腔不会超出振膜感测部的边界位置,避免低频讯号流失。