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专利状态
微机电麦克风及其制造方法
有效
专利申请进度
申请
2016-08-04
申请公布
2018-02-13
授权
2023-03-17
预估到期
2036-08-04
专利基础信息
申请号
CN201610634522.6
申请日
2016-08-04
申请公布号
CN107690115A
申请公布日
2018-02-13
授权公布号
CN107690115B
授权公告日
2023-03-17
分类号
H04R19/04;H04R31/00
分类
电通信技术;
申请人名称
共达电声股份有限公司
申请人地址
山东省潍坊市坊子区凤山路68号
专利法律状态
2023-03-17
授权
状态信息
授权
2018-02-13
公布
状态信息
公布
摘要
公开了一种微机电麦克风及其制造方法。该微机电麦克风包括:背极板、振膜、以及传感层,其中,所述背极板包括第一表面和第二表面,所述振膜与所述背极板的所述第一表面相对并且相隔预定距离设置,使得可振动的所述振膜与所述背极板之间形成电场,所述传感层贴附于所述背极板的所述第二表面,所述传感层的形变带动所述背极板发生形变。本发明提供的微机电麦克风在具有麦克风功能的基础上集成了其他物理量的传感功能,且结构紧凑,节省布局面积。
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