MEMS麦克风振膜及MEMS麦克风

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专利状态

MEMS麦克风振膜及MEMS麦克风

有效

专利申请进度

申请

2016-08-04

申请公布

2018-02-13

授权

2023-10-03

预估到期

2036-08-04

专利基础信息

申请号	CN201610634401.1	申请日	2016-08-04
申请公布号	CN107690114A	申请公布日	2018-02-13
授权公布号	CN107690114B	授权公告日	2023-10-03
分类号	H04R19/04;H04R7/08
分类	电通信技术;
申请人名称	共达电声股份有限公司
申请人地址	山东省潍坊市坊子区凤山路68号

专利法律状态

2023-10-03

授权

状态信息

授权
2020-11-13

著录事项变更

状态信息

著录事项变更；IPC(主分类):H04R19/04；变更事项:申请人；变更前:山东共达电声股份有限公司；变更后:共达电声股份有限公司；变更事项:地址；变更前:261000 山东省潍坊市坊子区凤山路68号；变更后:261000 山东省潍坊市坊子区凤山路68号
2018-08-14

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利申请权的转移；IPC(主分类):H04R19/04；登记生效日:20180726；变更事项:申请人；变更前:北京卓锐微技术有限公司；变更后:山东共达电声股份有限公司；变更事项:地址；变更前:100190 北京市海淀区中关村北二条13号44幢118房间；变更后:261000 山东省潍坊市坊子区凤山路68号
2018-03-13

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H04R19/04；申请日:20160804
2018-02-13

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种MEMS麦克风振膜及MEMS麦克风，MEMS麦克风振膜包括：膜片和子结构，所述子结构设置有多个；所述子结构包括支撑部和梁结构，所述支撑部与所述梁结构连接，所述梁结构与所述膜片连接。本发明提供的MEMS麦克风振膜，在膜片边缘设置子结构，且子结构通过梁结构连接到膜片上，通过设置刚度较小的梁结构使MEMS麦克风振膜在工作时，当其中一个或多个子结构失效时，对所述膜片的灵敏度影响较小，所述膜片可以正常工作，并保证工作质量。进一步地，设置有上述MEMS麦克风振膜的MEMS麦克风灵敏度更高，信号质量更好，且使用寿命更长，可靠性更高。

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