一种全解耦振动式微机械陀螺

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专利状态

一种全解耦振动式微机械陀螺

有效

专利申请进度

申请

2009-12-25

申请公布

2010-06-30

授权

2011-08-31

预估到期

2029-12-25

专利基础信息

申请号	CN200910243960.X	申请日	2009-12-25
申请公布号	CN101759136A	申请公布日	2010-06-30
授权公布号	CN101759136B	授权公告日	2011-08-31
分类号	G01C19/00;B81B7/02
分类	测量；测试;
申请人名称	紫光股份有限公司
申请人地址	北京市海淀区清华大学紫光大楼605室

专利法律状态

2011-08-31

授权

状态信息

授权
2010-08-25

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/02申请日:20091225
2010-06-30

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种全解耦振动式微机械陀螺，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。驱动质量块弹性支撑梁通过立柱固定在基片上，驱动质量块为方框形，其四角通过弹性支撑梁与立柱相连。检测质量块置于驱动质量块中，并通过弹性支撑梁与驱动质量块相连。驱动电容固定电极固定在基片上，驱动电容可动电极与驱动质量块相对固定，并与驱动电容固定电极位置相对。检测电容固定电极固定在微机械陀螺的基片上，检测电容可动电极固定在检测质量块下表面的绝缘层上，并通过导电柱与检测质量块导通。本发明的微机械陀螺，从结构设计上完全消除了驱动方向的振动对检测电容的干扰，提高了微机械陀螺灵敏度，而且不增加工艺难度和加工成本，易于批量生产。

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