一种氧化物陶瓷溅射靶的制备方法

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专利状态

一种氧化物陶瓷溅射靶的制备方法

有效

专利申请进度

申请

2011-09-07

申请公布

2012-04-11

授权

2014-08-06

预估到期

2031-09-07

专利基础信息

申请号	CN201110262874.0	申请日	2011-09-07
申请公布号	CN102409299A	申请公布日	2012-04-11
授权公布号	CN102409299B	授权公告日	2014-08-06
分类号	C23C14/34;C23C14/08;B23K1/19;B23K35/26;C22C13/00
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	湖北三峡新型建材股份有限公司
申请人地址	湖北省宜昌市当阳市经济技术开发区特1号

专利法律状态

2023-06-30

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):C23C 14/34；专利号:ZL2011102628740；登记生效日:20230619；变更事项:专利权人；变更前权利人:三峡大学；变更后权利人:湖北三峡新型建材股份有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:443002 湖北省宜昌市大学路8号；变更后权利人:444105 湖北省宜昌市当阳市经济技术开发区特1号；变更事项:专利权人；变更前权利人:孙宜华湖北三峡新型建材股份有限公司；变更后权利人:
2023-06-30

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):C23C14/34；登记生效日:20230619；变更事项:专利权人；变更前:三峡大学；变更后:湖北三峡新型建材股份有限公司；变更事项:地址；变更前:443002 湖北省宜昌市大学路8号；变更后:444105 湖北省宜昌市当阳市经济技术开发区特1号；变更事项:专利权人；变更前:孙宜华湖北三峡新型建材股份有限公司
2014-08-06

授权

状态信息

授权
2012-05-23

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C14/34；申请日:20110907
2012-04-11

公布

状态信息

公布

摘要

一种氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金，将以Sn为主要成分的含有特定含量的Zn、In和Bi的四元系钎焊合金作为连接陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接材料，陶瓷靶材连接面中温预烧渗极薄的银过渡层，实施陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接，能够低成本、高效率的生产，改善钎料润湿性，提高靶材与同背板的连接性能，实现稳定溅射的溅射靶。本发明的制造氧化物陶瓷溅射靶的方法，有效地实现了靶材与背板的连接，连接的抗剪强度达20MPa左右，在进行真空溅射时，能够承受更大的靶功率密度，靶功率密度可达8.2W/cm²。

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