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专利状态
光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法
有效
专利申请进度
申请
2018-02-11
申请公布
2018-08-03
授权
2023-01-17
预估到期
2038-02-11
专利基础信息
申请号 CN201810141928.X 申请日 2018-02-11
申请公布号 CN108364854A 申请公布日 2018-08-03
授权公布号 CN108364854B 授权公告日 2023-01-17
分类号 H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677
分类 基本电气元件;
申请人名称 无锡先导智能装备股份有限公司
申请人地址 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新锡路20号
专利法律状态
  • 2023-01-17
    授权
    状态信息
    授权
  • 2018-08-03
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法,所述方法包括:步骤1、装卸机械手从石英舟上分两次抓取处理后的硅片卸在空的花篮组内,花篮组移出装卸区;步骤2、下一组花篮携带未处理的硅片移进装卸区,装卸机械手先从花篮组内分两次抓取未处理的硅片装载在石英舟空出的区域,再从石英舟上分两次抓取处理后的硅片装载在花篮组内;花篮组移出装卸区;步骤3、重复步骤2直到石英舟上所有的处理后的硅片卸完,并且装满未处理的硅片。本发明通过合理的流程设置和时序安排,利用装卸机械手装卸速度快的特点,能够大量减少装卸机械手的等待时间,提高了在退舟后的石英舟上卸下处理后的硅片、装载未处理的硅片的装卸效率。