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专利状态
一种稳定支撑机构、腔体及蒸发镀膜机
有效
专利申请进度
申请
2023-08-30
授权
2024-03-01
预估到期
2033-08-30
专利基础信息
申请号 CN202322347082.4 申请日 2023-08-30
授权公布号 CN220550216U 授权公告日 2024-03-01
分类号 C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 无锡先导智能装备股份有限公司
申请人地址 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新锡路20号
专利法律状态
  • 2024-03-01
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本申请公开了一种稳定支撑机构、腔体及蒸发镀膜机,该机构包括:第一压板,第一压板用于设置于腔体的侧壁;第一安装座,第一安装座用于设置于小墙板;顶压组件,顶压组件沿第一方向导向装配于第一安装座,第一压板用于在小墙板移动时与顶压组件抵接以驱动顶压组件沿第一方向朝远离第一压板的方向移动;第一限位结构,第一限位结构设置于第一安装座且与顶压组件沿第一方向间隔设置,第一限位结构用于在顶压组件沿第一方向朝远离第一压板的方向移动时与顶压组件抵接,以使顶压组件与第一压板顶压配合。本申请能够避免辊子水平震动对卷绕张力、走膜稳定性及镀膜效果造成的不良影响。