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专利状态

一种双光路缺陷检测装置

有效

专利申请进度

申请

2021-11-18

授权

2022-06-14

预估到期

2031-11-18

专利基础信息

申请号	CN202122831328.6	申请日	2021-11-18
授权公布号	CN216747446U	授权公告日	2022-06-14
分类号	G01N21/88;G01N21/01
分类	测量；测试;
申请人名称	广东奥普特科技股份有限公司
申请人地址	广东省东莞市长安镇锦厦社区河南工业区锦升路8号

专利法律状态

2022-06-14

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种双光路缺陷检测装置，包括用于发出检测光线的灯板，以及设于检测光线的光路上的第一分光器件、第二分光器件和第一反射器件。检测光线中的第一部分光线经第一分光器件引射至第一被测工件，形成第一反射光线；检测光线中的第二部分光线经第一反射器件引射至第二被测工件，形成第二反射光线；还包括第二分光器件，设于第一反射光线和第二反射光线的光路的重合位置，用于将第一反射光线和第二反射光线引射至目标成像位置。本实用新型使得包含有不同被测工件表面特征的光线得以同时引射至目标成像位置，达到双光路同时进行缺陷检测的目的，有效地节省了检测成本，并提高了检测效率。

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