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专利状态

一种线性等离子体源

有效

专利申请进度

申请

2013-02-04

申请公布

2013-07-31

授权

2016-04-06

预估到期

2033-02-04

专利基础信息

申请号	CN201310043635.5	申请日	2013-02-04
申请公布号	CN103227090A	申请公布日	2013-07-31
授权公布号	CN103227090B	授权公告日	2016-04-06
分类号	H01J37/32
分类	基本电气元件;
申请人名称	深圳市劲拓自动化设备股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区西乡街道广深高速公路北侧鹤洲工业区劲拓自动化工业厂区

专利法律状态

2016-04-06

授权

状态信息

授权
2013-08-28

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20130204
2013-07-31

公布

状态信息

公开

摘要

本发明实施例公开了线性等离子体源，应用于太阳能电池生产领域。一种线性等离子体源，包括：外壳，所述外壳形成具有出口的反应室；进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；电极系统，包括至少两个电极板，所述电极板安装在外壳上，位于所述反应室内的内部管道周围；电磁系统，包括电磁线圈，所述电磁线圈安装在所述外壳反应室的出口处，具有等离子出口。本发明实施例结构简单，生产制作成本低，均匀性好，膜层致密性高。

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