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专利状态

一种掩膜板对位拍照装置

有效

专利申请进度

申请

2018-04-12

授权

2018-11-09

预估到期

2028-04-12

专利基础信息

申请号	CN201820516905.8	申请日	2018-04-12
授权公布号	CN208076923U	授权公告日	2018-11-09
分类号	G03F9/00
分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
申请人名称	深圳市劲拓自动化设备股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区西乡街道广深高速公路北侧鹤洲工业区劲拓自动化工业厂区

专利法律状态

2018-11-09

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种掩膜板对位拍照装置，包括水平调节平台以及设置于该水平调节平台上的纵向调节座，所述纵向调节座上可沿竖直方向移动地设置有纵向直线模组，所述纵向直线模组上设置有与所述治具配合的掩膜板；还包括至少两个分别设置于所述纵向调节座两侧的对位拍照组件以及与所述对位拍照组件配合的同轴光源。该掩膜板对位拍照装置能够提高定位拍照精度，以提高掩膜板的转印效果和产品质量。

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