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专利状态
一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置
有效
专利申请进度
申请
2019-09-26
申请公布
2021-03-26
授权
2023-05-09
预估到期
2039-09-26
专利基础信息
申请号 CN201910915478.X 申请日 2019-09-26
申请公布号 CN112553579A 申请公布日 2021-03-26
授权公布号 CN112553579B 授权公告日 2023-05-09
分类号 C23C14/26
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 宝山钢铁股份有限公司
申请人地址 上海市宝山区富锦路885号
专利法律状态
  • 2023-05-09
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-03-26
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置,其特征在于:包括坩埚,其外侧设有感应加热器,坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体,布流箱体内设有一水平向的隔板,布流箱体顶部连有喷嘴,蒸汽管道上设有调压阀;所述隔板,包括分压板,及连于其上表面的过滤板,分压板和过滤板均为多孔结构;所述分压板设置为分段式结构,其正对蒸汽管道的位置为D1段,分别位于D1段两侧的D2、D3段,位于D2旁的D4段,及位于D3段旁的D5段。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时,在钢板表面形成均匀镀层。