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专利状态
一种具有气垫缓冲腔的真空镀膜装置
有效
专利申请进度
申请
2020-07-21
申请公布
2022-01-21
授权
2024-03-08
预估到期
2040-07-21
专利基础信息
申请号 CN202010702070.7 申请日 2020-07-21
申请公布号 CN113957390A 申请公布日 2022-01-21
授权公布号 CN113957390B 授权公告日 2024-03-08
分类号 C23C14/26;C23C14/16
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 宝山钢铁股份有限公司
申请人地址 上海市宝山区富锦路885号
专利法律状态
  • 2024-03-08
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-02-15
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/26;申请日:20200721
  • 2022-01-21
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种具有气垫缓冲腔的真空镀膜装置,包括坩埚,所述坩埚的外侧设有用以将所述坩埚内金属液加热形成金属蒸汽的感应加热器,所述坩埚顶部通过金属蒸汽管道连有布流箱体,所述布流箱体内设有一水平向的稳压板,所述布流箱体内的顶部设有垂直向的抑流板,所述稳压板位于所述抑流板的下方,所述布流箱体的顶部连有镀膜喷嘴,所述金属蒸汽管道上设有调压阀;所述稳压板设置为多孔结构,所述稳压板的孔隙总面积S孔隙总面积与所述镀膜喷嘴的出口位置面积S出口之比大于等于0.1,即:S孔隙总面积/S出口≥0.1;所述抑流板具有两块,分别对称位于所述镀膜喷嘴的两侧。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时,在钢板表面形成均匀镀层。