一种边缘厚度测量方法、装置、边缘厚度测量设备及介质

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专利状态

一种边缘厚度测量方法、装置、边缘厚度测量设备及介质

有效

专利申请进度

申请

2021-09-03

申请公布

2021-11-02

授权

2023-08-01

预估到期

2041-09-03

专利基础信息

申请号	CN202111031927.8	申请日	2021-09-03
申请公布号	CN113587829A	申请公布日	2021-11-02
授权公布号	CN113587829B	授权公告日	2023-08-01
分类号	G01B11/06
分类	测量；测试;
申请人名称	凌云光技术股份有限公司
申请人地址	北京市海淀区翠湖南环路13号院7号楼7层701室

专利法律状态

2023-08-01

授权

状态信息

授权
2021-11-19

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01B11/06；申请日:20210903
2021-11-02

公布

状态信息

公布

摘要

本发明实施例公开了一种边缘厚度测量方法、装置、边缘厚度测量设备及介质。该边缘厚度测量方法包括：获取安装于扫描平台两侧的第一线阵相机和第二线阵相机坐标系间的旋转平移矩阵；通过第一线阵相机拍摄待测物料，得到第一物料深度图像，拟合出待测物料边缘所在的初始物料边缘基准平面，并根据初始物料边缘基准平面确定物料边缘厚度测量感兴趣区域；根据旋转平移矩阵将初始物料边缘基准平面由第一坐标系切换为第二坐标系，得到目标物料边缘基准平面；在第二坐标系下，将测量得到的物料边缘厚度测量感兴趣区域内三维空间点到目标物料边缘基准平面的距离，作为待测物料的边缘厚度值。以实现提高测量精度和效率，节约测量成本，同时简化测量手段。

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