一种集成电路半导体芯片用超纯水机

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专利状态

一种集成电路半导体芯片用超纯水机

有效

专利申请进度

申请

2021-08-21

授权

2022-04-08

预估到期

2031-08-21

专利基础信息

申请号	CN202121971927.1	申请日	2021-08-21
授权公布号	CN216236478U	授权公告日	2022-04-08
分类号	C02F9/08;C02F103/04N
分类	水、废水、污水或污泥的处理;
申请人名称	东莞市仟净环保设备有限公司
申请人地址	广东省东莞市万江街道大汾社区大洲工业区

专利法律状态

2022-04-08

授权

状态信息

授权

摘要

一种集成电路半导体芯片用超纯水机，它包括支撑支架、供水泵、膜前压力管、膜后压力管、紫外线杀菌器、脱气膜、抛光树脂罐、真空泵、供水压力管、囊式过滤器、控制机箱，控制机箱下端通过囊式过滤器与供水压力管一端相连接。本实用新型有益效果为设备自动化程度高，无需人工干预，做到全自动制水，满水停机；且具有自清洗功能，还可以远程物联网功能；增加设有二级水质不合格排走功能，确保成品水品质优；二级浓水回收至原水箱，能缓解原水压力，节省水源，降低原水水质，使反渗透产水水质更优；往氮封水箱提供氮气，来保持水质鲜度；纯水输送至用水点后回流至氮封水箱，循环杀菌、脱气、保鲜，保持纯水水质质量，保证管道内无菌环境。

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