一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置

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专利状态

一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置

有效

专利申请进度

申请

2017-09-13

授权

2018-04-03

预估到期

2027-09-13

专利基础信息

申请号	CN201721183202.X	申请日	2017-09-13
授权公布号	CN207180156U	授权公告日	2018-04-03
分类号	F25J3/02;F25J3/08;C01B23/00
分类	制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化;
申请人名称	湖北和远气体股份有限公司
申请人地址	湖北省宜昌市长阳龙舟坪镇七里湾

专利法律状态

2018-04-03

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提出了一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置，换热器内穿过原料气管、冷凝气管、废气管和供气管，原料气管连接至低温精馏塔的进气口，低温精馏塔的出气口连接至废气管，低温精馏塔的出液口连接排液管，排液管上设有第一纯度检测器，排液管末端分三路并联分别设置第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐，第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐的进液口上分别设置第一阀门、第二阀门和第三阀门；第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐的出液口分别连接至供气管的进气端，供气管的出气端依次设置第二纯度检测器和流量计。本实用新型彻底解决了供气质量不合格造成的问题。

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