一种金刚石晶圆及其生产方法

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专利状态

一种金刚石晶圆及其生产方法

有效

专利申请进度

申请

2010-11-01

申请公布

2011-04-27

授权

2012-08-08

预估到期

2030-11-01

专利基础信息

申请号	CN201010526930.2	申请日	2010-11-01
申请公布号	CN102034854A	申请公布日	2011-04-27
授权公布号	CN102034854B	授权公告日	2012-08-08
分类号	H01L29/12;H01L21/02
分类	基本电气元件;
申请人名称	河南联合精密材料股份有限公司
申请人地址	河南省郑州市经济技术开发区第五大街109-20号

专利法律状态

2017-10-27

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):H01L29/12；变更事项:专利权人；变更前:河南省联合磨料磨具有限公司；变更后:河南联合精密材料股份有限公司；变更事项:地址；变更前:450016 河南省郑州市经济技术开发区第五大街109-20号；变更后:450016 河南省郑州市经济技术开发区第五大街109-20号
2012-08-08

授权

状态信息

授权
2011-06-15

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 29/12申请日:20101101
2011-04-27

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种金刚石晶圆及其生产方法。金刚石晶圆中非金刚石物质含量占金刚石晶圆总质量的0.05~15%。生产方法为：先用有机物对金刚石磨料进行表面包覆处理，将处理后的金刚石磨料平铺在模具中，表面用金属催化剂覆盖后压紧，放入真空炉中，在400~1000℃热处理2~10h，将模具装入叶蜡石合成块中，经六面顶压机在6~8GPa、1400~2000℃下处理1~10h，停热卸压后取出模具，用王水除去模具和表面的金属催化剂，即得到金刚石晶圆。该产品质量稳定，设备投入较低，成本低廉，晶圆尺寸较大，热导率达到10-12W/(cm.K)，可作为高性能的散热材料；还可用于太阳能光伏电池基材和半导体芯片，应用范围广。

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