一种高纯金刚石微粉及其提纯方法

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专利状态

一种高纯金刚石微粉及其提纯方法

有效

专利申请进度

申请

2006-12-05

申请公布

2007-09-05

授权

2009-08-19

预估到期

2026-12-05

专利基础信息

申请号	CN200610128334.2	申请日	2006-12-05
申请公布号	CN101028924A	申请公布日	2007-09-05
授权公布号	CN100528748C	授权公告日	2009-08-19
分类号	C01B31/06
分类	无机化学;
申请人名称	河南联合精密材料股份有限公司
申请人地址	河南省郑州市郑州经济技术开发区经南三路92号

专利法律状态

2017-11-10

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):C01B31/06；变更事项:专利权人；变更前:河南省联合磨料磨具有限公司；变更后:河南联合精密材料股份有限公司；变更事项:地址；变更前:450006 河南省郑州市郑州经济技术开发区经南三路92号；变更后:450006 河南省郑州市郑州经济技术开发区经南三路92号
2009-08-19

授权

状态信息

授权
2007-10-31

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效
2007-09-05

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种高化学纯度的金刚石微粉及其提纯方法。所述高纯金刚石微粉表面吸附的微量金属杂质总量不高于80μg/g，单种金属杂质含量不高于5μg/g，NH₄⁺含量不高于10μg/g，各种形态的硅的总量不高于30μg/g，Cl^-、SO₄^2-、PO₄^3-、NO₃^-等阴离子含量不高于50μg/g，单种阴离子含量不高于10μg/g。所述高纯金刚石微粉是采用硝酸、高氯酸、氢氟酸对静压合成或者爆轰合成的金刚石微粉进行湿法化学处理，再用高纯水洗涤净化，然后进行干燥制造而成。所述高纯金刚石微粉制造诸如单晶硅片、集成电路板、计算机硬盘盘片等高纯净度产品的研磨、抛光等领域有着广泛的应用前景。

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