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专利状态

一种打磨装置

有效

专利申请进度

申请

2022-12-06

授权

2023-03-03

预估到期

2032-12-06

专利基础信息

申请号	CN202223266515.5	申请日	2022-12-06
授权公布号	CN218556489U	授权公告日	2023-03-03
分类号	B24B7/22;B24B47/12;B24B47/00;B24B41/06;B24B41/00
分类	磨削；抛光;
申请人名称	深圳市长盈精密技术股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区福永镇桥头富桥工业3区3号厂

专利法律状态

2023-03-03

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种打磨装置，包括安装座、设于所述安装座上的打磨机构以及设于所述安装座上并用于驱动所述打磨机构升降的升降驱动机构，所述打磨机构包括设于所述升降驱动机构的输出端的第一连接座、设于所述第一连接座下端的第二连接座、用于调节所述第二连接座的水平度的调节机构、与所述第二连接座连接且能够随所述第二连接座的水平度调节而调节轴心线垂直度的第一驱动机构以及设于所述第一驱动机构的输出轴上的打磨盘。由于采用了上述技术方案，本实用新型能够提高晶圆的减薄精度。

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