一种氧化锡薄膜的制备方法

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专利状态

一种氧化锡薄膜的制备方法

有效

专利申请进度

申请

2014-03-20

申请公布

2014-07-23

授权

2015-08-26

预估到期

2034-03-20

专利基础信息

申请号	CN201410105524.7	申请日	2014-03-20
申请公布号	CN103936059A	申请公布日	2014-07-23
授权公布号	CN103936059B	授权公告日	2015-08-26
分类号	C03C17/23;C01G19/02;C04B41/85
分类	玻璃；矿棉或渣棉;
申请人名称	扬州明晟新能源科技有限公司
申请人地址	江苏省扬州市高邮市城南新区

专利法律状态

2015-08-26

授权

状态信息

授权
2014-08-20

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):C01G 19/02申请日:20140320
2014-07-23

公布

状态信息

公开

摘要

一种氧化锡薄膜的制备方法，属于薄膜制备技术领域，本发明以锑的氟化物为掺杂源、以锡的氯化物为出发原料，经混合雾化后沉积在耐高温基板表面，以此形成一种透明且具有良好功能性的氧化锡薄膜，其氟-锑共掺杂，通过在SnO₂晶体结构中，氟离子替代部分氧离子位置、锑离子替代部分锡离子位置进行掺杂，形成更高的载流子密度，从而具有比单一氟掺杂或单一锑掺杂更优越的导电性、气氛敏感性、透过率等，是一种极具优势、潜力的半导体功能薄膜材料。

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