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专利状态
一种雾化沉积室
有效
专利申请进度
申请
2015-06-18
授权
2015-12-09
预估到期
2025-06-18
专利基础信息
申请号
CN201520422609.8
申请日
2015-06-18
授权公布号
CN204849021U
授权公告日
2015-12-09
分类号
C23C16/455
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
扬州明晟新能源科技有限公司
申请人地址
江苏省扬州市高邮市城南新区
专利法律状态
2015-12-09
授权
状态信息
授权
摘要
一种雾化沉积室,涉及雾化热分解沉积薄膜的成形技术领域。由气雾缓冲室、气雾隔离室和废气回收室组成,在气雾缓冲室上设置气雾导入口,在气雾隔离室上设置净气导入口,在废气回收室上设置废气导出口;气雾缓冲室的下端与所述气雾导出狭缝的上端联通,在气雾隔离室的下端设置气雾约束狭缝,在废气回收室的下端设置气雾回收狭缝,所述气雾导出狭缝的下端设置在所述气雾约束狭缝和气雾回收狭缝之间,气雾导出狭缝与气雾约束狭缝和气雾回收狭缝相互平行布置。本结构简捷紧凑,能够有效控制雾化沉积过程中流场分布、沉积雾滴的均匀性、热分解反应副产物的收集、适合工业化生产。
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