一种镀膜反应器的气路清扫装置

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专利状态

一种镀膜反应器的气路清扫装置

有效

专利申请进度

申请

2022-08-04

授权

2022-11-29

预估到期

2032-08-04

专利基础信息

申请号	CN202222035580.0	申请日	2022-08-04
授权公布号	CN217922267U	授权公告日	2022-11-29
分类号	C23C2/08;C23C2/40
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	唐山市蓝欣玻璃有限公司
申请人地址	河北省唐山市汉沽管理区果园一队

专利法律状态

2023-12-22

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

状态信息

专利权质押合同登记的生效；IPC(主分类):C23C2/08；专利号:ZL2022220355800；登记号:Y2023980069701；登记生效日:20231206；出质人:唐山市蓝欣玻璃有限公司；质权人:中国邮政储蓄银行股份有限公司唐山市分行；实用新型名称:一种镀膜反应器的气路清扫装置；申请日:20220804；授权公告日:20221129
2022-11-29

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开了一种镀膜反应器的气路清扫装置，镀膜反应器内部设置有镀膜反应区和排烟气腔，镀膜反应区产生镀膜尾气，且镀膜尾气能够经由排烟气腔排出；排烟气腔的进腔口与镀膜反应区之间设置有气路清扫装置，气路清扫装置包括：支撑台、驱动装置和拉杆；支撑台设置于镀膜反应器内部且位于镀膜反应区与排烟气腔之间；驱动装置设置于支撑台上且其驱动端朝向进腔口设置；拉杆与驱动端相连，驱动装置能够驱动拉杆作往复移动，拉杆上设有若干沿第一方向设置的滑针；气路清扫装置工作时，滑针能够将附着在进腔口处的粉尘沉积物拨落。本申请利用拉杆带动滑针作往复移动，拨落进腔口处的粉尘堆积物，使进腔口能够顺畅排出镀膜尾气，保证镀膜成品的质量。

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